ISSN:
0323-7648
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
,
Physics
Description / Table of Contents:
The investigation of the temperature dependence of polymer etching rates in an oxygen plasma was extented to some more polymers. The complex nature of the etching process becomes obvious, because the temperature dependences are often nonlinear. Characteristic changes in the slope of the curves correspond only in some cases with the glass temperature of the polymers. Therefore these points can also be connected with the formation and etching of adsorption layers. Activation energies of partial processes were determined. Based on the temperature dependence, only some general conclusions on the plasma etching mechanism could be derived.
Notes:
Die Untersuchung von Temperaturabhängigkeiten der Plasmaätzrate von Polymeren im Sauerstoffplasma wurde auf weitere Polymere ausgedehnt. Die Temperaturabhängigkeit der Plasmaätzrate ist teilweise sehr unterschiedlich, was auf einen sehr komplexen Mechanismus des Ätzprozesses hindeutet. Charakteristische Knickpunkte in den Kurven konnten nur in einigen Fällen mit der Glastemperatur des Polymers in Verbindung gebracht werden. Möglicherweise werden diese Knickpunkte auch durch Abtrag und Bildung von Adsorptionsschichten hervorgerufen. Aktivierungsenergien von Teilprozessen wurden bestimmt. Aus den Temperaturabhängigkeiten allein ließen sich nur allgemeine Schlußfolgerungen über den Mechanismus des Plasmaätzens der einzelnen Polymere ableiten.
Additional Material:
4 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/actp.1991.010420613
Permalink
