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    Digitale Medien
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    On the existence of an intrinsic glass transition in a fragile liquid: polyvinylacetate (1996)
    Springer
    Colloid & polymer science 274 (1996), S. 490-495 
    Details
    ISSN: 1435-1536
    Schlagwort(e): Glass transition ; time dependent properties ; high performance Brillouin scattering ; Polyvinylacetate
    Quelle: Springer Online Journal Archives 1860-2000
    Thema: Chemie und Pharmazie , Maschinenbau
    Notizen: Abstract Time domain Brillouin spectroscopy has been used as a definitive experimental approach to demonstrate the intrinsic nature of the thermal glass transition in Polyvinylacetate. The transition from the equilibrium liquid to the ideal glassy state appears at the ultimate temperatureT gs.
    Materialart: Digitale Medien
    URL: http://dx.doi.org/10.1007/BF00652473
    Bibliothek Standort Signatur Band/Heft/Jahr Verfügbarkeit
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    Volltext
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    Digitale Medien
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    AFM Characterization of Ta-based Diffusion Barriers for Use in Future Semiconductor Metallization (1997)
    Chichester [u.a.] : Wiley-Blackwell
    Surface and Interface Analysis 25 (1997), S. 522-528 
    Details
    ISSN: 0142-2421
    Schlagwort(e): Ta ; diffusion barriers ; nanocrystalline films ; amorphous films ; AFM ; Chemistry ; Polymer and Materials Science
    Quelle: Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
    Thema: Physik
    Notizen: In this paper the investigation of r.f.-sputter-deposited Ta, Ta-N and Ta-N-O thin films is presented. Using atomic force microscopy in combination with sheet resistance measurements, Auger electron spectroscopy and x-ray diffraction, the thin film properties and microstructure are examined. Two crystalline modifications of Ta (tetragonal β-Ta and bcc α-Ta) are reported. By incorporation of nitrogen and/or oxygen into the Ta films, nanocrystalline and quasi-amorphous structures can be achieved. Finally, the usefulness of the films as diffusion barriers in Cu-based metallization systems is described.© 1997 John Wiley & Sons, Ltd.
    Zusätzliches Material: 7 Ill.
    Materialart: Digitale Medien
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