ISSN:
0049-8246
Keywords:
Chemistry
;
Analytical Chemistry and Spectroscopy
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Physics
Description / Table of Contents:
The determination of film thicknesses by XRFA is known from the literature. In most cases these methods are based on a comparison with defined reference films. Together with theoretical considerations a new method is developed, where no reference films are needed. An estimation on the accuracy of this method and measurements used in an energy dispersive system are discussed, and the method is evaluated.
Notes:
Die röntgnfluoreszenzanalytiche Bestimmung der Massenbelegung dünner Schichten ist literaturbekannt. Diese Methoden bauen zumeist auf einem Vergleich mit Proben difinierter. Massenbelegung auf. Es wird von der Theorie her gezeit, wie eine eichprobenfreie Messung möglich ist. Neben einer Abschätzung der mit dieser Methode verbundenen Fehler Werden die Messungen mit einem energiedispersiven Spektrometer und die rechnerische Auswertung behandelt.
Additional Material:
7 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/xrs.1300030412
Permalink
