Digitale Medien
Amsterdam
:
Elsevier
Sensors and Actuators A: Physical
45 (1994), S. 115-124
ISSN:
0924-4247
Schlagwort(e):
Bonding technique
;
Condenser microphones
;
Etch-back technique
;
Silicon
Quelle:
Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002
Thema:
Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
Materialart:
Digitale Medien
URL:
http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0924-4247(94)00833-7
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