Digitale Medien
Amsterdam
:
Elsevier
Microelectronic Engineering
8 (1988), S. 13-24
ISSN:
0167-9317
Schlagwort(e):
Microlithography
;
integrated circuit process technology
;
lens distortion
;
metrology
;
optical microlithography
;
overlay error
;
reduction error
;
step and repeat lithography
Quelle:
Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002
Thema:
Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
Materialart:
Digitale Medien
URL:
http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0167-9317(88)90004-4
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