ISSN:
0003-3146
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
,
Physics
Description / Table of Contents:
A preliminary study of the microlithographic properties of resins obtained by mixing a polyimide with a bis-azide has shown the possibility to be used in the far UV.The solutions of the resins are easily processed to give films with a good control of the thickness. Moreover, the films obtained are sensitive to UV irradiation at 254 nm. The irradiated parts are insoluble in a mixture of solvents constituted of water and dioxane or water and 1-N-methylpyrrolidone, whereas the non-irradiated regions are soluble in these solvent mixtures.
Notes:
L'étude préliminaire des propriétés microlithographiques des résines obtenues en mélangeant un polyimide et un bis-azide a permis de montrer que de telles résines pourraient probablement être utilisées en tant que résines microlithographiques sensibles aux UV lointains. En effet ces résines donnent des couchages homogènes qui ont des épaisseurs convenables. De plus, elles sont très sensibles aux irradiations: elles subissent alors des modifications de structure lorsqu'on les irradie par des radiations de longueur d'onde égale à 254 nm. Les parties ainsi insolées sont insolubles dans les solvants constitués par des mélanges d'eau et de dioxane ou d'eau et de 1-N-méthylpyrrolidone alors que ces mêmes solvants solubilisent parties non insolées.
Additional Material:
3 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/apmc.1996.052420104
Permalink
