ISSN:
0392-6737
Keywords:
Impact phenomena, including electron spectra and suputering
Source:
Springer Online Journal Archives 1860-2000
Topics:
Physics
Description / Table of Contents:
Riassunto Si confrontano il coefficiente di erosione ottenuto prendendo in considerazione una dipendenza spaziale della funzione che descrive l'energia depositata nella targhetta (dallo ione incidente) con il coefficiente ottenuto assumendo costante questa funzione (uguale al suo valore in superficie). A questo scopo è stata considerata una dipendenza spaziale esplicita (una gaussiana) per la funzione energia depositata. I risultati indicano che i due coefficienti differiscono sensibilmente nel caso di ioni incidenti ad alto numero atomico e/o per piccoli valori del rapporto di massa targhetta/ione.
Abstract:
Режюме Рассматривается пространственная зависимость (гауссова типа) функции выделенной энергии, ьтобы сравнитъ выход раслыления, полученный с учетом всей выделеннои в мишени энергии, с выходом распыления, полученным в предположении постоянной функции выделенной энергии, равной величине выделенной энергии на поверхости. Полученные режультаты покажывают, что два выхода существенно отличаются для болыьших атомных номеров падающих ионов и/илн для малых отношений масс атомов мишени и падаюшщих ионов.
Notes:
Summary An explicit spatial dependence (a Gaussian) of the depositedenergy function has been considered in order to compare the sputtering yield obtained by taking into account all the energy deposited inside the target with that obtained by assuming the deposited-energy function throughout constant, namely equal to its value at the surface. The results indicate that the two yields differ sensibly for high incident-ion atomic number and/or for small target/ion mass ratio.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1007/BF02460216
Permalink