ISSN:
1432-0487
Source:
Springer Online Journal Archives 1860-2000
Topics:
Electrical Engineering, Measurement and Control Technology
Description / Table of Contents:
Contents The electron-optical low-voltage column of the submicron electron-beam tester will be described. An electron probe diameter of 0.12 μm at a probe current of 2.5 nA as well as a beam voltage of 1 kV has been realized. It is shown that in the case of waveform measurements on 1.1 μm interconnection lines, the crosstalk error is only approximately 3%. The voltage resolution is sufficient to allow the sense signal of a 4 Mb DRAM (dynamic random access memory) to be verified. Typical examples demonstrate the benefits and flexibility of the contactless e-beam probing due to the allover verification requirements of the 4 Mb DRAM. Besides this the measured performance data enable the circuit analysis of the next DRAM-generation, the 16 Mb DRAM. The improvements still necessary for such future applications are briefly discussed.
Notes:
Übersicht Die Elektronenoptik der Niederspannungssäule eines Submikron-Elektronenstrahl-Meßgerätes (Sub-μm-EMG) wird beschrieben. Der Durchmesser des Elektronenstrahls erreicht für eine Strahlspannung von 1 kV und einen Probenstrom von 2,5 nA einen Wert von nur 0,12 μm. Das bei internen Signalverlaufsmessungen auftretende Übersprechen durch benachbarte Leitbahnen (‘crosstalk’-Fehler) konnte für 1,1 μm breite Bahnen auf etwa 3% begrenzt werden. Für den Nachweis des Lesesignals eines 4 Mb DRAM (‘Dynamic random access memory’, d. h. dynamischer Speicher mit wahlfreiem Zugriff) ist die Spannungsauflösung des Meßsystems ausreichend. Damit kann das Sub-μm-EMG zur internen Schaltungsüberprüfung des 4 Mb DRAM eingesetzt werden, wie an ausgewählten Beispielen illustriert wird. Die insgesamt ermittelten Leistungsdaten werden aber auch der zukünftigen Speichergeneration — dem 16 Mb DRAM — gerecht. Einige noch notwendige Verbesserungen für eine insgesamt erfolgreiche Schaltungsanalyse an Sub-μm-Schaltkreisen werden kurz diskutiert.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1007/BF01574026
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