ISSN:
0933-5137
Schlagwort(e):
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Quelle:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Thema:
Maschinenbau
Beschreibung / Inhaltsverzeichnis:
Die Orientierung der Säulen in der Mikrostruktur schräg aufgedampfter dünner SchichtenSchräg aufgedampfte dünne Schichten entwickeln gewöhnlich eine Mikrostruktur aus Sälen, deren Wachstumswinkel relativ zur Substratnormalen, β, nicht mit dem Einfallswinkel α übereinstimmt. Hier wird gezeigt, daß der funktionale Zusammenhang β(α) durch die Gleichung tan β=tan α + ρ-1(dρ/δα) in universeller Weise mit der Winkelabhängigkeit der Schichtdichte ρ verknüpft ist. Ein Vergleich mit numerischen Daten aus Simulationen der ballistischen Abscheidung von Scheiben und Kugeln bestätigt die Theorie.
Notizen:
Vapor-deposited thin films grown under conditions of oblique incidence commonly develop a microstructure of columns, inclined at an angle β relative to the substrate normal, which differs from the angle of incidence α. Here it is shown that the functional relation β(α) is universally linked to the dependence of the film density ρ on the angle of incidence, through the equation tan β=tan α + ρ-1(dρ/dα). The theory is supported by an analysis of published numerical data obtained from simulations of ballistic deposition of disks and spheres.
Zusätzliches Material:
5 Ill.
Materialart:
Digitale Medien
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19950260107
Permalink
