ISSN:
1618-2650
Source:
Springer Online Journal Archives 1860-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
Description / Table of Contents:
Summary It is shown that activation analysis can be applied with good success for the determination of trace impurities in semiconductor material. The specificity and sensitivity together with a reasonable reproducibility are demonstrated. As an example, a survey of the determinations carried out with Ge, Se and Si matrices is given.
Notes:
Zusammenfassung Es wird gezeigt, daß die Aktivierungsanalyse mit gutem Erfolg zur Spurenbestimmung von Verunreinigungen in Halbleiter-Materialien herangezogen werden kann. Spezifität, Empfindlichkeit und Reproduzierbarkeit dieses Verfahrens werden diskutiert. Als Beispiel wird ein Überblick über die Bestimmung der Verunreinigungen in Germanium, Selen und Silicium gegeben.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1007/BF00423675
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