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Digitale Medien

Three-dimensional simulation of ion-enhanced dry-etch processes

Pelka, J.

Amsterdam : Elsevier

Microelectronic Engineering 14 (1991), S. 269-281

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ISSN: 0167-9317

Schlagwort(e): Cell model ; Monte-Carlo methods ; dry etching ; microloading ; simulation ; surface processes

Quelle: Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002

Thema: Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik

Materialart: Digitale Medien

URL: http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0167-9317(91)90012-3

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Digitale Medien

Difffraction effects in submicron contact or proximity printing

Henke, W. ; Schwalm, R. ; Weiss, M. ; [weitere]

Amsterdam : Elsevier

Microelectronic Engineering 10 (1990), S. 73-89

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ISSN: 0167-9317

Schlagwort(e): Diffraction ; lithography ; modelling ; process control ; proximity printing ; resolution

Quelle: Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002

Thema: Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik

Materialart: Digitale Medien

URL: http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0167-9317(90)90001-A

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Digitale Medien

Redeposition in ion milling

Muller, K.P. ; Pelka, J.

Amsterdam : Elsevier

Microelectronic Engineering 7 (1987), S. 91-101

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ISSN: 0167-9317

Schlagwort(e): Ion milling ; computer simulation ; ion beam etching ; process modeling ; redeposition ; sputtering ; trenching

Quelle: Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002

Thema: Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik

Materialart: Digitale Medien

URL: http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0167-9317(87)90007-4

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