Zusammenfassung
An dünnen LiF-Aufdampfschichten wird die maximale Eindringtiefe von He+-Ionen und Elektronen durch Messung der Lumineszenz bestimmt und mit der Schädigungstiefe von He+-Ionen verglichen.
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Erster Teil von D 26.
Herrn Prof. Dr. W.Hanle danken wir für stete Förderung, dem Bundesministerium für wissenschaftliche Forschung für die Bereitstellung von Mitteln.
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Morbitzer, L., Scharmann, A. Messung der Eindringtiefe von Heliumionen und Elektronen bis io keV in LiF-Aufdampfschichten. Z. Physik 177, 174–178 (1964). https://doi.org/10.1007/BF01375335
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DOI: https://doi.org/10.1007/BF01375335