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Rigorous FEM-Simulation of Maxwell’s Equations for EUV-Lithography

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Metadaten
Author:Jan Pomplun
Document Type:Master's Thesis
Contributing Corporation:Technische Universität Berlin
Year of first publication:2006
URL:http://www.zib.de/Numerik/NanoOptics/publications/PubText/Pomplun06.pdf

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