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    Digitale Medien
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    [S.l.] : American Institute of Physics (AIP)
    Review of Scientific Instruments 69 (1998), S. 980-982 
    ISSN: 1089-7623
    Quelle: AIP Digital Archive
    Thema: Physik , Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
    Notizen: An electron cyclotron resonance (ECR) plasma production method using electron cyclotron wave is presented. This method is not subjected to any cutoff-density scaling, and is capable of generating dense plasmas far beyond the critical density of an ordinary wave. It has been demonstrated that a plasma density more than 1013 cm−3 (argon) is obtained with a low frequency (2.45 GHz) and low power (11 kW) microwave. The experimental results and the application to plasma neutralizer are described. The experimental verification of superpermeability of Nb membrane in a plasma environment is in progress to develop a plasma neutralizer with Nb-membrane wall. The design parameters of Nb-membrane pump are presented. © 1998 American Institute of Physics.
    Materialart: Digitale Medien
    Bibliothek Standort Signatur Band/Heft/Jahr Verfügbarkeit
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