ISSN:
0003-3146
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
,
Physics
Description / Table of Contents:
In der Röntgentiefenlithographie wird Polymethylmethacrylat (PMMA) gezielt mit Röntgensynchrotronstrahlung bestrahlt. Dadurch ändert sich die chemische Struktur des Polymeren, so daß es mit Hilfe eines selektiven Lösemittelgemisches vom restlichen unbestrahlten Polymeren abgetrennt werden kann. Ein wesentlicher Punkt der strahleninduzierten Strukturänderungen von PMMA ist die Molmassenabnahme, welche durch den Einsatz einer SEC-MALLS Kopplung zur Absolutbestimmung der Molmasse erstmals quantitativ bestimmt werden konnte. Zur Darstellung des experimentell ermittelten Verlaufs wurde eine kinetische Funktion abgeleitet, welche den Zusammenhang zwischen Dosis und Molmasse mit sehr guter Genauigkeit wiedergibt.
Notes:
Poly(methyl methacrylate) is a preferred material used in X-ray lithography. One effect observed after irradiation is a change of its chemical structure, combined with a decrease of the molar mass. This was analysed quantitatively using size exclusion chromatography combined with multi-angle laser-light scattering. Based on a kinetic model, an equation was derived which gives a satisfactory description of the dependence of the molar mass on the radiation dose.
Additional Material:
4 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/apmc.1996.052390107
