ISSN:
0947-5117
Schlagwort(e):
Chemistry
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Polymer and Materials Science
Quelle:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Thema:
Maschinenbau
Beschreibung / Inhaltsverzeichnis:
On the corrosion of materials in the field of microelectronicsThe reliability of microelectronic components and devices is also determined by the corrosion behaviour of the applied materials. Because of the very small dimensions of the resulting corrosion systems, the transferability both of the experimental methods and of the interpretation of results, known from macrodimensioned corrosion systems, is only possible with some restrictions. Micro-dimensioned corrosion systems, occurring in the field of microelectronics, are characterized by a complex mechanical, thermal and corrosive load, which can change very rapidly over time, by the presence of different, galvanic coupled metals and at least by an electrical load of the corroding material.This report describes the corrosion types and problems of microelectronical corrosion systems, concerning the experimental simulation of corrosion reactions and the evaluation of the results.
Notizen:
Die Funktionssicherheit mikroelektronischer Bauteile und Bauelemente wird auch durch das Korrosionsverhalten der verwendeten Werkstoffe bestimmt. Wegen der kleinen Dimensionen der resultierenden Korrosionssysteme ist die Übertragbarkeit sowohl der experimentellen Untersuchungsmethoden als auch der Ergebnisinterpretation makrodimensionierter Korrosionssysteme nur eingeschränkt möglich. Mikrodimensionierte Korrosionssysteme in der Mikroelektronik sind gekennzeichnet durch eine komplexe mechanische, thermische und korrosionschemische Beanspruchung, die zeitlich rasch variieren kann, durch das Vorhandensein verschiedener, galvanisch miteinander verbundener Metalle und schließlich durch eine externe Strombelastung des korrodierenden Materials.Der Beitrag beschreibt die Korrosionsarten und die Problematik mikroelektronischer Korrosionssysteme, die bei der experimentellen Simulation des Korrosionsgeschehens, der Bewertung und Interpretation der Untersuchungsergebnisse anzutreffen sind.
Materialart:
Digitale Medien
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/maco.19930440403
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