ISSN:
0003-3146
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
,
Physics
Description / Table of Contents:
Die Belichtung von Photoinitiatoren, deren Photoreaktionen Protonen- oder Lewis-Säuren liefern, in Novolakschichten führt zu einem Abbau dieser Harze. Intermediär werden benzylische Kationen gebildet, die durch ihre langwelligen Absorptionen zwischen 525 und 545 nm detektierbar sind. Diese Zwischenprodukte reagieren entweder mit Nucleophilen (z. B. Anionen, Wasser) zu Benzylderivaten, oder mit Phenolen zu Novolaken (Rückreaktion), oder sie ergeben unter Protonenabspaltung ebenfalls gefärbte ortho-Chinonmethide (Absorptionsmaxima bei ∼ 400 nm). Insgesamt resultiert ein kompliziertes System von Konkurrenzreaktionen, so daß kinetische Auswertungen erschwert werden. Infolge der damit verbundenen Löslichkeitsveränderungen kann der photoinduzierte Abbau von Novolaken für photolithographische Anwendungen genutzt werden. In Negativ-Photoresists, die Novolake als polymere Bindemittel enthalten, wirkt sich dieser Prozeß aber nachteilig aus.
Notes:
The exposure of photoinitiators contained in novolac layers, which give protonic or Lewis acids by irradiation, leads to the degradation of these resins. Benzylic carbocations are formed as intermediates, which can be detected by their long wavelength absorptions between 525 and 545 nm. These intermediates react either with nucleophiles (e.g. anions, water) to benzyl derivatives, or with phenols to novolacs (back reaction), or they yield, under abstraction of protons, ortho-quinone methides, also coloured (absorption maxima at ∼400 nm). Altogether, a complicated system of competitive reactions occurs and, therefore, kinetic calculations are very difficult. Due to changes caused in solubility, this photoinduced degradation of novolacs can be used for photolithographic purposes. But problems arise in negative working resists using novolac resins as polymeric binders.
Additional Material:
3 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/apmc.1991.051930113
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