ISSN:
1432-0487
Source:
Springer Online Journal Archives 1860-2000
Topics:
Electrical Engineering, Measurement and Control Technology
Description / Table of Contents:
Contents The development of integrated microwave circuits for analogue and digital applications with higher speeds requires new testing methods. The process and circuit development primarily require non loding measurements of internal signals. The adaptation of the proven technique of e-beam testing to these new requirements was successfull. Signal rise times as well as phase relations between different signals are critical quantities in the time scale. Presently, rise times can be measured down to 15 ps with an error of less than 10%. Measurements between signals being recorded within 3 hours are possible with an accuracy of±2 ps.
Notes:
Übersicht Die Entwicklung integrierter Mikrowellenschaltungen für analoge und digitale Anwendungen mit hohen Geschwindigkeiten erfordert neue Meßmethoden. Für die Prozeß- und Schaltungsentwicklung ist vor allem die belastungsfreie Messung interner Signale notwendig. Die bereits bewährte Elektronenstrahlmeßtechnik konnte diesen neuen Anforderungen angepaßt werden. Zeitkritische Größen sind sowohl Signalanstiegszeiten als auch Phasenlagen verschiedener Signale zueinander. Signalanstiegszeiten können gegenwärtig bis herab zu 15 ps mit einem Fehler unter 10% gemessen werden. Für Messungen von Phasenlagen zwischen Signalen, die innerhalb von 3 Stunden aufgezeichnet wurden, ergibt sich eine Genauigkeit von±2 ps.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1007/BF01574027
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