Digitale Medien
Amsterdam
:
Elsevier
Microelectronic Engineering
14 (1991), S. 249-258
ISSN:
0167-9317
Schlagwort(e):
Monte Carlo
;
Pattern profile abnormality
;
SAL601
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SOG (spin-on glass)
;
catalyst
;
chemical amplification resist
;
diffusion
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humidity
;
pattern profile simulation
;
ray-tracing model
Quelle:
Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002
Thema:
Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
Materialart:
Digitale Medien
URL:
http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0167-9317(91)90010-B
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