Digitale Medien
Amsterdam
:
Elsevier
Sensors and Actuators A: Physical
45 (1994), S. 85-89
ISSN:
0924-4247
Schlagwort(e):
Anisotropic etching
;
Cellular automata model
;
Silicon
Quelle:
Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002
Thema:
Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
Materialart:
Digitale Medien
URL:
http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0924-4247(94)00820-5
Permalink
Bibliothek |
Standort |
Signatur |
Band/Heft/Jahr |
Verfügbarkeit |