ISSN:
0933-5137
Schlagwort(e):
Chemistry
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Polymer and Materials Science
Quelle:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Thema:
Maschinenbau
Beschreibung / Inhaltsverzeichnis:
Deposition of hard coatings type (B,C,N) at low coating temperatures by PACVDIn this study the deposition of (B,C,N) layers by means of low temperature (250°C) pulsed DC plasma assisted CVD process was investigated using a metallo-organic compound as precursor being synthesized in a new way. It is shown that the deposition of (B,C,N) layers is possible with high hardness and adhesion in the investigated parameter range.
Notizen:
In dieser Studie wurde die Abscheidung von (B,C,N)-Schichten unter Verwendung der auf einem, neuen Syntheseweg dargestellten metallorganischen Verbindung C8H18BN im DC-Puls-PACVD-Prozeß bei niedrigen Beschichtungstermperaturen (250°C) unter-sucht. Es konnte gezeigt werden, daß doe Herstellung von (B,C,N)-Schichten mit guter Härte und Haftfestigkeit im betrachteten Parameterraum möglich ist.
Zusätzliches Material:
6 Ill.
Materialart:
Digitale Medien
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19940251107
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