ISSN:
0933-5137
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Mechanical Engineering, Materials Science, Production Engineering, Mining and Metallurgy, Traffic Engineering, Precision Mechanics
Description / Table of Contents:
Synthesis of Zr(B,C,N) layers by means of pulsed DC-PACVDIn this study the deposition of Zr(B,C,N) layers by means of low temperature (330°C) pulsed DC plasma assisted CVD process was investigated using a metallo-organic compound as precursor being synthesized in a new way. It is shown that the deposition of Zr(B,C,N) layers is possible with high hardness and adhesion in the investigated parameter window.
Notes:
In dieser Studie wurde die Abscheidung von Zr(B,C,N)-Schichten unter Verwendung der auf einem neuen Syntheseweg dargestellten metallorganischen Verbindung CpZr(BH4)3 im DC-Puls-PACVD-Prozeß bei niedrigen Beschichtungstemperaturen (330°C) untersucht. Es konnte gezeigt werden, daß die Herstellung von Zr(B,C,N)-Schichten mit guter Härte und Haftfestigkeit im betrachteten Parameterraum möglich ist.
Additional Material:
6 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19930241003
