ISSN:
0009-286X
Keywords:
Chemistry
;
Industrial Chemistry
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
,
Process Engineering, Biotechnology, Nutrition Technology
Notes:
Die simultane Heißwandpyrolyse von dampfförmigen Chloriden des Siliciums, Bors oder Titans und Methan zu Carbiden mit überschüssigem Kohlenstoff führt zu heterogenen Abscheidungen mit mikroskopisch erkennbarem Lamellengefüge. Die Schichtung parallel zur Substratoberfläche gibt einen Einblick in den oszillierenden Pyrolyseablauf mit Perioden in der Größenordnung von Sekunden. Der Reaktionsablauf im Gasgrenzfilm wird mit dem dynamisch instabilen Verhalten stationär betriebener Reaktoren für chemische Umsetzungen verglichen. Auf einen analogen Oszillationsmechanismus bei der Pyrokohlenstoff-Abscheidung aus Methan wird hingewiesen.
Additional Material:
20 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/cite.330410521
