ISSN:
0044-2313
Keywords:
Chemistry
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Inorganic Chemistry
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
Description / Table of Contents:
Molecular SiO2, Matrix IR Investigations and Ab Inito SCF-CalculationsDimeric SiO2 is formed in a matrix reaction between (SiO)2 and O2. Its structure can be deduced from the IR spectra of different 18O-substituted isotopomers. The observed frequency shifts (16O/18O and 28Si/29Si) are in accordance with those calculated by a normal coordinate analysis. The structure concluded from experimental data is also confirmed by quantum chemical calculations. With the help of these calculations the dimerisation energy 2SiO2 ⇌ (SiO2)2 is obtained: -453 kJ mol-1. The mechanism of formation of (SiO2)2 from (SiO)2 and O2 is discussed with respect to some similarities to the elementary process during oxidation of the surface of silicon wafers.
Notes:
In einer Matrixreaktion zwischen (SiO)2 und O2 bildet sich dimeres SiO2. Seine Struktur läßt sich aus den IR-Spektren verschiedener 18O-substituierter Isotopomerer nachweisen. Die beobachteten Frequenzverschiebungen (16O/18O und 28Si/29Si) stimmen mit denen überein, die in einer Normalkoordinatananalyse berechnet werden. Die aus experimentellen Daten abgeleitete Struktur wird auch durch quantenchemische Rechnungen unterstützt. Nach diesen Rechnungen beträgt die Dimerisierungsenergie [2SiO2 ⇌ (SiO2)2] -453 kJ mol-1. Der Bildungsmechanismus des (SiO2)2 aus (SiO)2 und O2, dem in Hinblick auf Elementarprozesse bei der Oberflächenoxidation von Silicium Wafern Bedeutung zukommt, wird diskutiert.
Additional Material:
2 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/zaac.19905800115
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