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Si/C phases from the IR laser-induced decomposition of divinylsilane (1998)

Dřínek, Vladislav ; Bastl, Zdeněk ; Šubrt, Jan ; [weitere]

New York, NY [u.a.] : Wiley-Blackwell

Applied Organometallic Chemistry 12 (1998), S. 427-433

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Details

ISSN: 0268-2605

Schlagwort(e): laser ; chemical vapour deposition ; thin films ; Si/C/H materials ; divinylsilane ; silicon carbide ; polycarbosilane ; Chemistry ; Industrial Chemistry and Chemical Engineering

Quelle: Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000

Thema: Chemie und Pharmazie

Notizen: Transversely excited atmospheric (TEA) CO2 laser-induced decomposition of divinylsilane in the gas phase yields unsaturated C2-C4 hydrocarbons, benzene and vinylsilane, and it represents a convenient process for chemical vapour deposition of thin solid films composed of silicon carbide and polycarbosilane. © 1998 John Wiley & Sons, Ltd.

Zusätzliches Material: 8 Ill.

Materialart: Digitale Medien

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