Digitale Medien
Amsterdam
:
Elsevier
Microelectronic Engineering
14 (1991), S. 327-339
ISSN:
0167-9317
Schlagwort(e):
CoSi"2
;
TiSi"2
;
interface bowing
;
salicide
;
thermal stability
Quelle:
Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002
Thema:
Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
Materialart:
Digitale Medien
URL:
http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0167-9317(91)90016-7
Permalink
Bibliothek |
Standort |
Signatur |
Band/Heft/Jahr |
Verfügbarkeit |